根據(jù)潔凈室檢測項目的普遍性和特殊性,潔凈室的技術(shù)參數(shù)可以分為基本項目和特殊項目兩大類。
潔凈室檢測的基本項目
(1)潔凈度,是指單位體積的空氣中不小于某一粒徑的微粒個數(shù)。潔凈度等級分為 1-9 級。
(2)微生物濃度,是指單位體積的空氣中微生物的個數(shù)。微生物包括病毒、細(xì)菌和真菌等,種類繁多??諝庵械奈⑸镆部梢钥醋隹諝庵形⒘5囊徊糠帧?nbsp;
(3)溫度。溫度一方面是滿足工作人員舒適性要求,另一方面會影響加工的精確度,甚至?xí)绊憙x器的參數(shù),從而造成測量誤差。
(4)濕度。濕度也是影響工作人員舒適性的條件,而且濕度過大會造成金屬腐蝕,電路短路,滋生細(xì)菌。
(5)風(fēng)速與風(fēng)量。足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證;過大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費能量,而且有時會影響潔凈室生產(chǎn)設(shè)備的正常的工作。
(6)氣壓與壓差??刂茐翰钍强刂坡夥较虻氖侄?。一般潔凈室為了保證潔凈度,不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。而病毒實驗室或傳染病房, 為了安全考慮不允許室內(nèi)空氣向室外泄漏。
(7)照度。照度是滿足正常生產(chǎn)工作的必要條件。
(8)噪聲。噪聲是影響人員的身體健康的一項基本要求。
潔凈室檢測的特殊項目
(1)振動。振動一方面影響設(shè)備的加工精確度,另一方面會影響儀器的測量精度。
(2)靜電。靜電會導(dǎo)致微電子元件損毀,甚至產(chǎn)生電火花引起火災(zāi)。
(3)有害氣體濃度。有害氣體的種類繁多,有的會損害人體健康,有的會影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品的合格率。所以潔凈室需要控制有害氣體濃度。
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